半導體製程蝕刻的問題,透過圖書和論文來找解法和答案更準確安心。 我們找到下列懶人包和總整理

半導體製程蝕刻的問題,我們搜遍了碩博士論文和台灣出版的書籍,推薦菊地正典寫的 看圖讀懂半導體製造裝置 和盧廷昌,王興宗的 半導體雷射技術(2版)都 可以從中找到所需的評價。

另外網站8. 下列有關「半導體」製程之敘述,何者正確? (A)乾式蝕刻比 ...也說明:下列有關「半導體」製程之敘述,何者正確? (A)乾式蝕刻比濕式蝕刻容易造成二氧化矽的過切問題 (B)蝕刻是將晶圓上未受光阻保護之氧化膜移除 (C)矽是半導體,如果摻雜硼 ...

這兩本書分別來自世茂 和五南所出版 。

國立成功大學 製造資訊與系統研究所 鄭芳田所指導 林亭妤的 以模型為基的特徵萃取法提升虛擬量測精度 (2014),提出半導體製程蝕刻關鍵因素是什麼,來自於虛擬量測、全自動虛擬量測系統、資料導向、模型為基的特徵萃取。

最後網站(11) 證書號數則補充:些溝渠結構與該半導體基板之表面,形成一多晶矽結構覆蓋於該閘極氧化層;對該多晶矽結構進行. 蝕刻,使得該 ... 製程(lithography)及蝕刻製程(etching),以移除部分的氮化.

接下來讓我們看這些論文和書籍都說些什麼吧:

除了半導體製程蝕刻,大家也想知道這些:

看圖讀懂半導體製造裝置

為了解決半導體製程蝕刻的問題,作者菊地正典 這樣論述:

  清華大學動力機械工程學系教授 羅丞曜  審訂   得半導體得天下?   要想站上世界的頂端,就一定要了解什麼是半導體!   半導體可謂現在電子產業的大腦,從電腦、手機、汽車到資料中心伺服器,其中具備的智慧型功能全都要靠半導體才得以完成,範圍廣布通信、醫療保健、運輸、教育等,因此半導體可說是資訊化社會不可或缺的核心要素!   半導體被稱為是「產業的米糧、原油」,可見其地位之重要   臺灣半導體產業掌握了全球的科技,不僅薪資傲人,產業搶才甚至擴及到了高中職!   但,到底什麼是半導體?半導體又是如何製造而成的呢?   本書詳盡解說了製造半導體的主要裝置,並介紹半導體

所有製程及其與使用裝置的關係,從實踐觀點專業分析半導體製造的整體架構,輔以圖解進行細部解析,幫助讀者建立系統化知識,深入了解裝置的構造、動作原理及性能。

以模型為基的特徵萃取法提升虛擬量測精度

為了解決半導體製程蝕刻的問題,作者林亭妤 這樣論述:

虛擬量測(Virtual Metrology,VM)技術利用工件的歷史製程資料和與其相對應的量測資料來建立推估模型,如此可將離線且具延遲特性的品質抽檢改為線上且即時之品質全檢。目前大部分的虛擬量測系統所採用的建模參數組合,是擷取自該製程某時間區段相對應的歷史製程與量測資料,以『資料導向(Data Driven)』分析法挑選出建模參數。資料導向在決策中仰賴歷史數據的品質、資料集的大小和所在時間區間,挑選出的參數集合好壞常受到以上因素所侷限,例如:不同時間區間的資料變異程度大,最後使得統計分析所得的參數集合會隨著上述限制因素的不同而改變。如此,將無法穩定地選到符合該製程的所有重要參數組合,致預測

模型與精度將難以維護。資料導向所導致的限制使得研究者常需要多次試誤與依賴工程師廠內經驗來提升預測精度;再者,研究經驗中發現,有時候具統計意義之結果,並不能完全代表實際運作之物理現象。綜合以上狀況,將難以說服生產單位接受並使用之。為解決上述問題,本論文提出一套適用於虛擬量測系統的特徵篩選法。其作法為首先採取基於物理與化學的製程領域原理即所謂模型為基(Model-based)的特徵萃取 方法來挑選主要參數(Primary Parameters);然後,再採用基於統計與資料探勘等數學工具的資料導向(Data Driven)方法來挑選次要參數(Secondary Parameters)。由範例可得知,

本論文所採用的方法,可妥當地挑選出固定的參數組合,且可改善虛擬量測的預測精度。

半導體雷射技術(2版)

為了解決半導體製程蝕刻的問題,作者盧廷昌,王興宗 這樣論述:

  半導體雷射廣泛的存在於今日高度科技文明的生活中,如光纖通信、高密度光碟機、雷射印表機、雷射電視、雷射滑鼠、雷射舞台秀甚至雷射美容與醫療、軍事等不勝枚舉之應用都用到了半導體雷射。半導體雷射的實現可以說是半導體科技與光電科技的智慧結晶,同時也對人類社會帶來無與倫比的便利與影響。本書沿續「半導體雷射導論」由淺入深的介紹半導體雷射基本操作原理與設計概念,內容涵蓋了不同半導體雷射的構造與光電特性,以及半導體雷射的製程與信賴度,可為大(專)學四年級以及研究所一年級相關科系的學生與教師,提供有系統的學習半導體雷射的教科書,本書亦適用於想要深入了解半導體雷射的專業人員。