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國立陽明交通大學 工學院工程技術與管理學程 曾仁杰所指導 王瑞宗的 金屬(AlSiCu)濕式蝕刻均勻性改善之研究 (2021),提出cassette半導體關鍵因素是什麼,來自於6吋晶圓代工、濕式蝕刻、實驗設計法。
而第二篇論文國立雲林科技大學 電機工程系 吳先晃所指導 林玟綻的 AGV上機械手臂作物件夾取之精確定位 (2021),提出因為有 晶圓框架提籃定位、自動化光學檢測、模板匹配、嵌入式系統的重點而找出了 cassette半導體的解答。
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金屬(AlSiCu)濕式蝕刻均勻性改善之研究
為了解決cassette半導體 的問題,作者王瑞宗 這樣論述:
在現今的6吋晶圓製造代工廠,因製造成本太高需不斷做降低成本的活動,來維持競爭力。本研究以L公司的大宗產品金屬氧化半導體場效電晶體(MOSFET:Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor)作為降低成本的改善對象,利用本人工作相關的經驗,選擇金屬(AlSiCu)蝕刻製程均勻性(U%)做改善研究。因現況使用單一酸槽式批次生產機台做金屬(AlSiCu)濕式蝕刻,其均勻性(U%)不佳需經過2道金屬(AlSiCu)濕式蝕刻且總蝕刻量要百分之一百五十才能將需蝕刻的材料蝕刻乾淨,不僅製造工序多而且生產週期也長,整體成本隨之增加。回顧相關文獻與教科書籍
,蒐集「金屬濕式蝕刻機台研究」、「金屬蝕刻液研究」及「濕式蝕刻製程參數研究」三大類金屬濕式蝕刻相關文獻,得到影響金屬(AlSiCu)濕式蝕刻的因子。另外蒐集「矩陣實驗設計」及「田口式實驗設計」之實驗設計相關文獻,兩者一起運用在本研究以最少的實驗條件成本並可對金屬(AlSiCu)濕式蝕刻均勻性(U%)得到改善。本研究使用單槽式批次生產機台並利用特性要因-魚骨圖列出機台面、製程面、治具面及蝕刻液面總共11項影響因子。本研究先分四組利用矩陣實驗(28次)找出4項控制因子。再利用田口式實驗設計4因子3水準L9(34)找出影響的控制因子及水準。本研究實驗得到金屬(AlSiCu)濕式蝕刻均勻性(U%)最佳
化條件為:手臂(Robot)擺盪頻率60次/分鐘、鐵氟龍晶舟(Teflon cassette)傾斜度20度、酸液幫浦(Chemical pump)循環速率18 公升/分鐘及氮氣氣泡(N2 Bubble)流量15公升/分鐘,均勻性(U%)平均5.9%,確實達到預期的改善均勻性(U%)目標
AGV上機械手臂作物件夾取之精確定位
為了解決cassette半導體 的問題,作者林玟綻 這樣論述:
來自各種應用設備需求持續增加及車用電子等新興應用帶動,全球半導體產業趨勢持續成長,台灣半導體產業,仍舊是最重要的製造業之一。隨著全球工業4.0產業升級的潮流,為了應對全球智(慧自)動化、無人工廠的趨勢,走在所有產業中最前端的半導體產業,各種自動化產線,更是加緊腳步朝向更具智慧的方向前進,其中隨之成長的IC封測廠商更是有目共睹。 應用於半導體封裝製程中,承載固定晶圓的框架(Metal Frame)提籃,其所具備的抗靜電材料、輕量化、密閉設計、隔離保護晶圓的特性,於各製程機台傳送儲存及保護封裝晶圓中一直被大量使用。在產線上,為解決搬運晶圓框架提籃作業的人力短缺問題,可以藉由AGV搭配機械手
臂行走至各工作站,再透過自動光學檢測(AOI, Automated Optical Inspection)系統,定位出不同外觀、不同規格的晶圓框架提籃,提供給AGV上的機械手臂在當前工作站的精確框架位置,使機械手臂能夠更順暢精準地在產線上做抓取。此論文研究的目的,主要在解決同一框架提籃於的不同檢測平面,指定黃光區域下,因不同平面的紋理特性,造成影像品質變異所產生的定位問題,達到精準定位晶圓框架提籃,使機械手臂的夾取不因稍有偏差而造成產線上損失的目標。完成後將可實現產線上的即時定位,更新取代現有系統,以提升產線的效率及品質。
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#17.Skytech 天虹科技
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#18.晶圓傳送盒;晶舟盒;晶圓盒 - JB產品網
光電半導體、晶舟盒、Wafer Cassette:中勤本以製造業起家,自1988年成立以來,現階段不斷地整合研發及製造能力,在半導體光電、太陽能後製程等領域提供 ... 於 www.jetbean.com.tw -
#19.半導體構裝製程簡介 - 遠東科技大學
半導體 構裝之層級. 積體電路(IC)構裝分類 ... 進行銲線,封膠及成型所完成的半導體. 封裝體稱為Lead frame package ... Cassette Load Wafer. Transfer System. 於 www.feu.edu.tw -
#20.Wafer Cassette 晶圓切割專用卡匣- 落塵計數器 - 百索商情網
營業項目:, 靜電消除Ionizer ESD靜電防護微塵污染控制防潮包裝包材防静電導電材料電子儀器及設備生化醫療產品HOYA 半導體LCD 無塵室相關乾燥劑磁嘴Capillary 手套指套 ... 於 tw.bysources.com -
#21.模具射出代工 - 海瑞電科
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#22.化合物半導體材料 - 磊拓科技股份有限公司
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#23.Wafer Pack / UnPack System - 三和技研股份有限公司
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#24.Brerwista Bonavita VST SYNFO - 晶圓傳送系統 - 銓宸
Mapping System: Wafer mapping sensor insert to cassette (FOUP and FOSB) to detect an Empty Slot, Double Slot Detection and Cross Slot Detection. 於 www.retctw.com -
#25.家登精密工業股份有限公司
家登以「製造服務業」自許,定位為「全球關鍵材料創新技術的整合服務商」,從傳產中的模具廠蛻變,躍升為世界級的半導體廠商,為快速有效地滿足客戶所有需求,家登發展 ... 於 www.gudeng.com -
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#29.台積電供應商家登擴廠衝刺先進製程,訂單能見度第2 季沒問題
晶圓代工龍頭台積電的重要半導體設備供應商家登指出,除了先進製程的極紫外 ... 吋廠光罩及晶圓載具(Wafer Pod / Cassette)需求強勁,目前中半導體 ... 於 finance.technews.tw -
#30.外傳英特格EUV Pod出貨台積電,業界指出消息不正確
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#31.Standards - Semi.org
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#32.晶舟盒Wafer Cassette半導體製程、後工程
威茂興企業有限公司一直以來戮力於在半導體封裝的膠帶業創造屬於台灣的膠帶品牌。 ... 針對Outstand shin wafer有翹曲的專用客製化Cassette輕量化、自動化對應 ... 於 cn.well-orientation.com.tw -
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鴻瑋精密為晶圓周邊工具,相關設備開發製造之供應製造商,提供關於半導體產業,光電業,微機電… ... 提供機台設備Cassette 之規格測試; 半導體/ 光電業… 於 hongweicorp.com -
#34.品質政策-復華機械股份有限公司的公司簡介
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#35.半導體-光電-產品-設備 - 新禾應用材料有限公司
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#36.Cassette/晶舟盒/晶圓盒 - 合敘企業有限公司
半導體 製程中,晶圓在高溫製程中,需要金屬晶舟當載具,金屬晶舟有設計防滑裝置,晶圓置放於金屬晶舟內,關上定位桿即可防止晶圓在傳送或製程中滑落。晶圓在酸鹼製程 ... 於 www.hesyu.com.tw -
#37.半導體治具晶舟盒 - 數益工業有限公司
半導體 治具晶舟盒. 6吋CASSETTE 8吋CASSETTE 12吋CASSETTE 特殊規格均可客製化生產. 6吋CASSETTE,處理方式:一般陽極處理、硬陽處理,皆 半導體治具晶舟盒,處理 ... 於 new.su-i.com.tw -
#38.半導體專區 - 科嶠工業股份有限公司
半導體 專區. 1-6 of 6. 載具清洗機。 客製化清洗晶圓/Panel載具清洗機。 可應用載具: 1. 12 FOUP/FOSB; 2. 8 inch cassette; 3. 光罩盒; 4. Panel FOUP ... 於 www.asianeotech.com -
#39.6 吋晶圓2023
在半導體的新聞中,總是會提到以尺寸標示的晶圓廠,如8 吋或是12 吋晶圓廠,然而, ... 服務: 封裝測試系列系列IC Tray / LED Tray / Frame / Frame Cassette / Frame ... 於 hundijasa.online -
#40.工學院專班半導體材料與製程設備學程
隨著半導體製程技術已經進入到奈米世代,相對地對於污染微塵粒子 ... wafer cassette. ... 如圖2-6 所示,SMIF Pod 包含一個可以移動的晶舟(cassette)在裡面,. 於 ir.nctu.edu.tw -
#41.2023 Wafer notch 方向 - birvideodasana.online
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#42.晶圓盒的價格推薦第9 頁- 2023年5月| 比價比個夠BigGo
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#44.G7抵制中國之際,日本獲美企青睞
在日本出口清單上唱主角的是半導體生產設備、建築機械和鋼鐵等產品類別,對此,努力振興美國製造業的拜登政府官員只有羡慕的份兒。 於 cn.wsj.com -
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#47.6” WAFERx2cassette /8”x1 cassette 複槽式手動傳輸WET ...
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#50.交大應化系2023
早期之研究教學偏重於半導體科技、電子及光電材料與工程相關之領域,近年來逐步發展為以 ... Stray cassette tape location how to get the Midtown music The Loadout ... 於 xxvideoburada.online -
#51.晶圓載具( Cassette ) - 崇越科技
Cassette. 廣泛使用於晶圓廠、IC 廠和二極體廠等,在無塵室內承載2 吋至12 吋晶圓並配合生產機台,為避免手直接接觸到晶圓,使晶圓或產品造成污損,將晶圓放入晶舟內,再 ... 於 www.topco-global.com -
#52.8" PEEK Cassette 13 Slot - 產品介紹- 維將科技
產品名稱:8" PEEK Cassette 13 Slot. ○ 產品編碼:PK-C200-T. ○ 產品尺寸:202.54(L)x235(W)x218.94(H)mm. ○ 容量:13 PCS. ○ 適用晶圓:8 inch (Ø200mm) 晶圓. 於 www.v-general.com -
#53.金屬晶舟盒/ 耐高溫卡匣
金屬晶圓載具/ Metal cassette. 半導體製程中,晶圓在高溫製程中,需要金屬晶舟當載具,申玥生產的金屬晶舟材質為鋁合金(AL),應用鋁合金的重量輕、鋼性佳不易變形、 ... 於 www.sy-tech.com.tw -
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#55.TWI673219B - 晶圓容器及固持晶圓的方法 - Google Patents
機器人技術(robotics)常使用在半導體製造工業中,以在整個製作區域中傳輸半導體晶圓(也稱為基底)。傳統晶圓盒(wafer cassette)通常用於保持常被統稱為批(lot)的一組晶 ... 於 patents.google.com -
#56.CASSETTE式超音波清洗機商品說明 - 錸恩帕斯科技
CASSETTE 式超音波清洗機,錸恩帕斯, 桌上型超音波/工業用/商用/超音波清洗設備/洗淨 ... 半導體.電子.玻璃.光學.PCB.醫藥產業.五金零件.表面處理等行業 四槽CASSETTE式/ ... 於 www.lpst-ultrasonic.com.tw -
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LCD Cassette卡匣清洗機. ○, 應用:LCD G5 ~ G8.5 Cassette清洗. ○. 製程:In C/V → Washing Chamber → Dry Chamber →Out C/V. 於 www.sun-opto.com -
#59.Evatec 半導體設備等級協助提升Micro LED 生產良率
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#60.選擇製程晶舟(Wafer Cassette) - 鼎岳科技股份有限公司-(新竹
選擇製程晶舟(Wafer Cassette). 半導體製程晶圓在製程、運送上一直是很重要的議題,因為無污染、方便、安全、精確、穩定的在製程機台轉換運送如此昂貴的成品和半成品是 ... 於 demand.kong.com.tw -
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一、半導體設備客製化製造. ‧Cassette Clean 客製化製造. ‧Wet Bench 客製化製造 · 二、二手設備翻修工程. ‧Nikon / Canon Stepper Refurbish/Modify 2"or4" · 三、 無塵室 ... 於 www.sstechnology.com.tw -
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主要用途:Cassette 內晶圓缺角邊之整平尋邊及晶圓角度對位( 360度) 應用範圍:半導體晶片、砷化鎵晶片 產品特色. 特選工程塑膠,堅固耐用不易變形,壽命長 ... 於 www.keiwatech.com -
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#77.Mask cleaning machine-軒運科技有限公司-半導體設備廠商
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#78.晶圓裝卸(cassette)式紫外光臭氧清洗機UV-300HC|Samco Inc.
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#79.Die Counter Wafer Transfer_晶圓傳送設備 - 鑫佑科技
... 判讀晶圓(Wafer)上的晶方(Die)數量,再拆批或併批放置於原本Cassette 或轉換至 ... 鑫佑科技為日本Kawasaki 及義大利LPE 專業合作廠商,專精於半導體自動化設備客 ... 於 xing-yu.com.tw -
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#81.Cassette, Shipping Box, Carrier 的專家-鼎岳科技 - Facebook
若有任何Entegris產品需求(Housing、Filter、Valve、Cassette 等…) 6" 黑色box, 有現貨. ... 鼎岳科技股份有限公司-(新竹、竹北、半導體、過濾器、純化器、Mykrolis). 於 www.facebook.com -
#82.6 Inch Wafer Cassette - 正言不銹鋼
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#83.成逸企業有限公司
塑膠射出成型模具開發Cassette製造廠,CSTN-TFT-LCD-OLED光學鏡片、CASSETTE卡匣、玻璃基板治具設計模具開發,配合使用特殊航太工程導電、抗靜電塑膠材料, ... 於 www.everjump.com.tw -
#84.光電半導體、晶舟盒、Wafer Cassette-台灣黃頁詢價平台
中勤本以製造業起家,自1988年成立以來,現階段不斷地整合研發及製造能力,在半導體光電、太陽能後製程. 於 www.web66.com.tw -
#85.12吋封裝製程專用傳送盒 - 台灣精品
中勤實業股份有限公司半導體產業的競爭力取決於產品的良率,現有承載Frame的產品皆為 ... 後段封裝製程仍高度依賴人力,舊有金屬材質的Frame Cassette滿載晶圓及Metal ... 於 www.taiwanexcellence.org -
#86.铁氟龙晶圆盒|晶圆框架盒Cassette|深圳市东虹鑫静电器材有限 ...
深圳东虹鑫专注半导体电子行业周转存储产品的研发、设计、生产和销售一体的老牌企业.主营产品有led料盒,晶圆框架盒,晶圆环,半导体料盒,铝料管.锡膏先进先出, ... 於 www.dohone.com -
#87.半導體載具 - 全智動科技
6” 8” 12 “外框 420金屬材料客製化雷射刻碼. 封裝Matel Frame. PFA Cassette. 適用晶圓: 6 inch 8 inch. SLOT : 25 SLOT. PFA Cassette. Matel Cassette. 於 www.cciatech.com -
#88.4、6、8、12吋Metal Cassette - 產品介紹- 鼎洲科技股份有限公司
Metal Cassette主要承載半導體,二級發光體磊晶片、長晶片、晶圓片的容器使用在不同半導體,二級發光體長晶磊晶電池片製程中需耐高溫,廠內傳送使用。 於 www.dnjo.com.tw -
#89.TME系列- 設備- 半導體晶圓 - 台灣大都電子股份有限公司
自動晶片厚度量測機 可設定多點量測 2個CASSETTE STAGE 有MAPPING ,CASSETTE有無,晶片偏移SENSOR 設有FFU、IONIZER 測定器:分光干涉SENSOR 於 www.daitron.com.tw -
#90.半導體材料 - els - 億力鑫系統科技
聯絡我們. 台灣 · 中國 · 日本 · 俄羅斯. 半導體材料. Cassette Selling. 4" Metal Cassette. 2" Metal Cassette. ©2013 ELSTECH All Rights Reserved. 於 www.els-tech.com.tw -
#91.榮耀電子材料(重慶)有限公司- SemiGlory
我司服务 荣耀电子拥有从事半导体包装和工程塑料行业20多年丰富经验的设计团队、高等级无尘注塑的车间、领先的注塑生产设备以及检测设备,并且充分了解晶圆产品对可靠性和 ... 於 www.semiglory.com -
#92.靜電消散解決方案| Metal Cassette & Magazine - 辛耘企業
半導體 晶圓載具(Semiconductor Wafer Carrier )類可以全方面針對金屬晶舟盒(Metal Cassette)、彈夾(Magazine)等產品進行客製化ESD服務(ESD Customized ... 於 www.scientech.com.tw -
#93.Top 100件cassette盒- 2023年5月更新 - 淘寶
joy&bv cassette編織相機包真皮mini斜挎包盒子包單肩小方包名牌. 黑色. ¥. 278. ¥1258. 已售1件. 收藏. 8評價 · 晶舟盒花籃週轉盒晶片盒晶圓硅片盒半導體IC插片 ... 於 world.taobao.com -
#94.UTC Radio and Cassette Recorder Circuit 目錄- 產品介紹
半導體 Semiconductor > 半導體目錄. 圖片僅供參考. UTC Radio and Cassette Recorder Circuit 目錄. 訂購數量. 依數量訂價. NTD. FLYiNG 庫存現貨, 電洽/Contact ... 於 www.flying1688.com -
#95.晶圓盒充氮氣之自動倉儲系統
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#96.晶舟盒Wafer Cassette – 鑄毅科技
使用於承載晶圓/晶片/半導體; 減少產品間摩擦; 降低汙染風險; 穩定產品品質. 請正確的使用適當的載具,以維持產品最高效益. 產品名稱name, 晶舟盒Wafer Cassette. 於 twzhuyi.wordpress.com -
#97.成逸企業有限公司| 塑膠射出成型| 模具設計開發| CASSETTE ...
最新快訊 · CASSETTE半導體封裝測試框架設備制造廠 · ✓ 塑膠射出成型代工製造✓ 模具設計開模✓ LED.IC半導體封裝測試承載設備用具✓ 玻璃基板承載框架. 於 website-5892803366262651118104-1.business.site -
#98.6 吋晶圓- 2023
在半導體的新聞中,總是會提到以尺寸標示的晶圓廠,如8 吋或是12 吋晶圓廠, ... Frame / Frame Cassette / Frame Box : 光罩傳輸系列光罩盒/ RSP 150 ... 於 puny.pw