晶圓盒用途的問題,透過圖書和論文來找解法和答案更準確安心。 我們找到下列懶人包和總整理

晶圓盒用途的問題,我們搜遍了碩博士論文和台灣出版的書籍,推薦田民波寫的 創新材料學 可以從中找到所需的評價。

另外網站Services - 明葳科技股份有限公司也說明:SOI晶圓(Silicon On Insulator Wafer)是通過使用氧佈植隔絕(SIMOX)和晶片鍵合技術生產的,以實現更薄且 ... 供應各種晶圓盒:蛋糕盒、披薩盒、cassette box、FOSB。

國立臺北科技大學 能源與冷凍空調工程系碩士班 胡石政所指導 夏育哲的 透過潔淨乾燥空氣去除極紫外線光罩傳送盒內的氣態分子污染物 (2013),提出晶圓盒用途關鍵因素是什麼,來自於真空技術、潔淨乾燥空氣充填、EUV Pod、氣態分子污染物(AMC)。

而第二篇論文長庚大學 資訊管理學研究所 林俊逸所指導 林三勝的 國軍彈藥管理導入RFID關鍵成功因素之研究 (2007),提出因為有 無線射頻辨識、彈藥管理、關鍵成功因素、分析層級程序法的重點而找出了 晶圓盒用途的解答。

最後網站Wafer Loader FOUP Type - Nutrim 新群科技則補充:自動晶圓傳送設備(封閉式). 能減少工作人員因觸碰到晶圓而造成晶圓髒污或損壞。可適用任何晶圓卡匣、晶舟盒。具高精度晶圓對位,適合在無塵室或高潔淨度製程環境下 ...

接下來讓我們看這些論文和書籍都說些什麼吧:

除了晶圓盒用途,大家也想知道這些:

創新材料學

為了解決晶圓盒用途的問題,作者田民波 這樣論述:

  《創新材料學》共分10章,每章涉及一個相對獨立的材料領域,自成體系,內容全面,系統完整。內容包括半導體積體電路材料、微電子封裝和封裝材料、平面顯示器相關材料、半導體固態照明及相關材料、化學電池及電池材料、光伏發電和太陽能電池材料、核能利用和核材料;能源、信號轉換及感測器材料、電磁相容—電磁遮罩及RFID 用材料、環境友好和環境材料,涉及最新技術的各個領域。本書所討論的既是新技術中所採用的新材料,也是新材料在新技術中的應用。

透過潔淨乾燥空氣去除極紫外線光罩傳送盒內的氣態分子污染物

為了解決晶圓盒用途的問題,作者夏育哲 這樣論述:

隨著集成電路飛速的發展,傳統光學的193nm浸潤式搭配雙重曝光技術,讓產業得以延伸到32nm~22nm製程,但發展到22nm製程以下採用多重曝光技術,製程難度會大幅增加,間接使生產成本大增。極短紫外光 (EUV) 波長可達到13.5nm,被視為延續moore‘s law(摩爾定理)最有效的方法。極短紫外光與傳統曝光的差異是,所有的設計都是採用反射式鏡片,但目前的問題是微影機台曝光功率和無缺陷光罩。無缺陷光罩的可用性是一個問題,微影機台曝光功率則會影響到晶圓量產的速度。機台的曝光功率會影響到成本效益,EUV微影機台本體的消耗功率約在350千瓦[26],由於二氧化碳雷射產生極短紫外光,會耗去非常

多的能量,真正利用到的能量很少,ASML的EUV微影機台可用功率已經達到60W,必須要將功率提高到250W,每小時生產100片晶圓才能符合效益。由於所有物直接會吸收極紫外光輻射(包括空氣),無法採用傳統的防塵薄膜來防護微粒和化學汙染物,勢必需要一個特殊的容器來存放、運輸,防止光罩受到外界汙染。新的EUV Pod (EUV光罩盒)是採用雙層盒設計,保護方式主要是利用進氣和出氣口的濾片和內外盒的間隔來做汙染物的隔離,但已經進入到EUV Pod的汙染物仍需要透過外力來清除。本實驗是藉由在光罩盒中放甲苯、氨比較充填潔淨乾燥空氣和抽真空的移除效果。充填條件分為,兩進兩出、兩進一出與一進一出,SEMI E

152-0709在2009年有規範兩個進氣口,增加了兩個通氣口做為預留用,但沒有明確規定用途。因為實驗架構是經由出氣口量測盒內汙染物之濃度,故選用兩進兩出、兩進一出來比較,一進一出是驗證文獻中CFD模擬進氣條件不同去除汙染物的優劣,經由實驗比較後,發現光罩盒有洩漏情形下,兩進兩出、兩進一出去除汙染物至原濃度5%的時間並無差別,一進一出移除效果比兩進兩出來的差。在氣態分子汙染物去除部分,甲苯容易排除;氨則是易殘留在光罩盒中。抽真空與充填CDA比較後發現,CDA是充填流量越高,去除效果越佳。真空腔體和光罩盒內容積比在51:1下,抽至15.9 torr所花的時間為兩分三十秒,模擬一個長、寬、高比光罩

盒多五公分的真空腔體進行推算,抽真空能在短時間內去除大量的氣態分子汙染物。

國軍彈藥管理導入RFID關鍵成功因素之研究

為了解決晶圓盒用途的問題,作者林三勝 這樣論述:

無線射頻辨識(Radio Frequency Identification,RFID)在國、內外應用日益廣泛,且有很多成功應用案例。國軍彈藥管理仍採用人力為主;遂管理上肇生彈藥外流等罅隙,造成社會的震驚與恐慌。然導入RFID技術可以改善彈藥管理是可以預期的,惟導入所牽涉層面廣泛且複雜,本研究蒐整歸納企業導入新科技方面等關鍵成功因素,建立評估準則之層級架構,利用層級分析法(Analytic Hierarchy Process,AHP)分析各項準則之權重並加以分析。 本研究得知權重排序為成本效益分析、策略整合目標、先導發展規劃、高階支持、科技接受認知、專責團隊能力、IT基礎建設、組織結構、

組織互動性、競爭壓力、政策標準推動、科技相容性、科技完善性、科技優勢性。另策略面在決策、管理及整體等權重均排序第一,惟業界較重視環境面、組織面及策略面等。關鍵成功因素成本效益分析在各單位認知上有些差異,惟權重仍是相對較高。國軍彈藥管理決策者認知關鍵因素與民間趨勢相近,即以成本效益分析為主,利用先導發展規劃降低風險,再輔以策略整合目標擴大其效能,有效確保成功率;而非以戰術需求考量為優先。關鍵字:無線射頻辨識、彈藥管理、關鍵成功因素、分析層級程序法