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自組式有機金屬汽相磊晶系統(MOCVD) LabVIEW自動控制程式設計和低溫氮化鎵磊晶成長及其光電特性研究
為了解決pci序列埠代碼28 的問題,作者翁嘉駿 這樣論述:
本論文主要分為2大部分,一為利用LabVIEW人機介面平台整合MOCVD磊晶系統軟硬體通訊介面,設計一套符合自組式MOCVD系統硬體設計的全自動磊晶控制程式;另一大項則為低溫氮化鎵磊晶成長研究。在該控制程式設計上除了整合各項硬體時序監控(Time sequence control and monitoring)外,尚有另一獨立狀態判定重複迴圈設計。該重複迴圈提供持續不間斷的特定緊急狀態觸發判定,可供強制系統動作以確保人機安全;程式尚保留了另一獨立"中斷程式"控制按鍵,提供使用者強迫中斷使用。該LabVIEW控制程式實際運行時間已逾一年(24hrs不中斷),完成近200次的磊晶程序並無任何差錯
,可見該程式擁有絕佳穩定性及可靠度。在程式人機介面設計亦相當美觀,在整體操作功能上已不遜於商用機台。在研究部分,利用該自組式NH3預熱MOCVD系統(TP-MOCVD)在低溫環境(
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串列埠擴充擋板(料號:12CF1-1CM001-3*R) ... 2 PCI. PCI Bus. PCI CLK. (33 MHz). PCIe to PCI Bridge ... 作業系統按下SATA控制器驅動程式代碼後再按<Enter>鍵。 於 download1.gigabyte.com