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國立清華大學 電機工程學系 吳財福所指導 余淩嘉的 遠程電漿源腔體建模與產生器設計 （2021），提出chamber半導體中文關鍵因素是什麼，來自於諧振逆變器、高功率逆變器、遠程電漿源、電感耦合式電漿源、半導體設備。
而第二篇論文中央警察大學 消防科學研究所 林宜君所指導 張憬汯的 公共危險物品室外儲槽火災風險研究-以中油○○煉油廠為例 （2021），提出因為有 石化業、室外儲槽、火災風險、修正式德爾菲、層級分析、ALOHA、大數據(Big Date)、FDS、消防力的重點而找出了 chamber半導體中文的解答。
遠程電漿源腔體建模與產生器設計
為了解決chamber半導體中文 的問題，作者余淩嘉 這樣論述：
本論文設計並研製了一台切換頻率約400 kHz且最高功率達2.5千瓦的遠程電漿源。遠程電漿源已被廣泛應用於晶片製造業中，除了可用於進行沉積與蝕刻以外，亦可應用於反應腔體內部的清潔。當反應腔體內壁堆積了過厚的矽種膜，矽種膜會剝落而污染晶圓，破壞原有的製程步驟。因此週期性的對反應腔體內部進行清潔為不可或缺的流程之一。遠程電漿源於反應腔外部產生可與矽種膜反應之電漿後，通過管線將電漿通入反應腔中，使電漿與矽種膜反應生成為矽種氣體後再將之排出反應腔外，即可完成自動化的清潔流程。本研究所聚焦研究之遠程電漿源，即為使用NF3氣體產生氮氣電漿之乾式清潔電漿源。產生電漿的過程主要分為兩個步驟：點火與持弧。「點
火」為一開始使用電容性放電電漿的形式，以高壓解離墮性氣體如氬氣，進而產生初始的自由電子。而後再供給腔體足夠高的電流及功率，採用電感性耦合電漿的方式，使腔體內的氮氣電漿能持續產生即為「持弧」。而本研究中分別設計了一個5千伏容性負載的高壓輸出逆變器作為「點火器」，用於初始的點火步驟，以及一個2.5千瓦定電流30安培輸出的高功率逆變器作為「維持器」，用以維持不同氣體流量下的氮氣電漿持續產生。為了設計兩台作為不同用途的逆變器，本研究將電漿負載進行了建模。由於電漿源腔體的設計掌控在其他研究者手中，在資訊以及設備有限的情況下，本研究根據灰箱研究的方式，將電漿載轉換成為等效之RLC負載。並且不僅不需使用傳統
電漿侵入式量測設備蘭姆探針，亦將氮氣氣體流量以及操作頻率這兩個影響等效負載關鍵因素的變動納入建模考量。根據所建模之等效電漿負載，作為高壓點火器的半橋諧振逆變器，以及作為高功率維持器的全橋諧振逆變器皆設計並研製。本研究採用瑞薩RX62T做為核心之數位處理器，並做為遠程電漿源之控制器，不僅能控制整個點火到維持的功率輸出流程，亦做為過壓過流保護之用途，以及控制逆變器使能穩定輸出。雖然實際的電漿產生過程中，由於氣體流動以及化學反應等難以控制速度的特性，不會有快速切載的控制需求，但本研究依然設計了回授補償，並且實際使用等效RL負載，進行了單台高功率逆變器的切載測試。而考量到未來電漿源功率擴充之可能性，本
研究亦針對兩台高頻高功率逆變器的並聯使用時之小訊號模型，進行建模並設計控制迴路。其設計結果亦進行了切載模擬並得到良好的控制效果，可做為未來此類高頻逆變器並聯研究之參考。最後，本研究所設計之遠程電漿源，亦實際使用氮氣與氬氣，進行不同氣體流量下的電漿產生測試，並將結果呈現於論文中。本論文的主要貢獻如下: 所設計之遠程電漿源可於不同氮氣流量下穩定輸出電漿。 點火器與維持器完全獨立分開的設計有助於日後維修替換、功率提升甚至是應變不同點火電壓的氣體應用。 所採用之等效電漿負載建模方法，有別於傳統電漿負載量測方式，不僅不需破壞腔體進行侵入式量測，亦不需要昂貴的特殊設備即可進行。
所建模之等效電漿負載，將隨著流量以及切換頻率，而產生之動態變化納入考量，並結合進逆變器的設計過程中。
公共危險物品室外儲槽火災風險研究-以中油○○煉油廠為例
為了解決chamber半導體中文 的問題，作者張憬汯 這樣論述：
石化業是我國的重要基礎民生工業之一，而石化業儲存油品方式主要以儲槽作為儲存方式，尤其以室外儲槽最為大宗使用。而石化業的特性又是長年不停機的運轉，當發生儲槽或管線外洩時，往往是發生災害的時候，且這類災害因可、易燃物儲量大，不易在短時間控制、撲滅火勢，容易形成延燒造成周邊更為嚴重的損害。國內石化業主要以中油及台塑為主，其中中油規模又比台塑更大，中油主要儲槽重鎮位於高雄，故本研究主要研究高雄的中油室外儲存油槽，探究其火災風險，藉由相關文獻回顧，實地勘察及修正式德爾菲法將相關領域專家學者、政府機關、業界意見、第一線從業人員協助問卷訪談來整併文獻回顧所得相關危害因子並將整併後的危害因子代入層級分析法計
算相關權重藉以分析、探討其場所火災風險因子，並以ALOHA(Areal Locations of Hazardous Atmospheres)擴散模擬軟體模擬場所儲存易燃性及可燃性液體室外儲槽不慎發生破孔洩漏時延燒可能影響區域之範圍、並加入大數據(Big Date)資料分析影響之區域電信信令人流數、戶籍設籍人口數等相互比較分析，最後將研究分析較為危險的場域儲槽利用FDS(Fire Dynamics Simulator)火災模擬軟體實際模擬儲槽發生危害導致形成火災災害時，鄰近周遭的溫度及相關的輻射熱危害，並蒐整相關數據換算所需消防救災能量，藉以供場所或類似場域做為規劃消防能量及避難疏散人流的參考
依據。研究結果顯示專家學者再利用修正式德爾菲法及層級分析法後再儲槽火災風險中主指標的排序為儲槽本體與防火避難設施占比(0.305)、危險物品及場所易燃物管理占比(0.211)、消防安全設備占比(0.205)、防火(災)管理制度占比(0.168)、勞工安全衛生管理占比(0.112)顯示專家學者在室外儲槽火災風險的因子中認為儲槽本體及防火避難設施的安全在整個儲槽火災風險中為最重的因素，在儲槽本體與防火避難設施中又以防火區劃(0.661)占比最大，表示專家學者一致認為防範儲槽火災風險的各項因子中均難以保障儲槽不發生意外狀況，最根本的儲槽火災預防之道係利用防火區劃的方式如具有1小時以上防火時效的防火區
劃將其區劃起來或者利用防火牆、防爆牆的方式去阻絕災害抑或利用防液堤、分隔堤將儲槽洩漏物侷限於某一區域避免擴大延燒形成更大災害。在室外儲槽火災風險研究中利用擴散模擬軟體ALOHA輸入相關環境參數及模擬危害物的化學物質狀況後可發現儲槽火災風險的模擬研究中位於上風處的儲槽在發生意外時其危害範圍比位於下風處的儲槽較為危險，研究結果發現儲槽代號D-206、D-208、D-209三座儲槽倘若不慎洩漏或肇生火災、爆炸可能會造成鄰近周邊的儲槽設施及住居民均陷入危害之中，因此在上風處的儲槽可以參考層級分析法的專家意見加強其防火區劃的侷限與阻隔方能確保災害發生時侷限住災害避免擴大。利用電信信令人流數及戶籍設籍人口
數去套疊儲槽火災風險大量洩漏(WCS)的危害區域，藉由地理資訊系統ArcGIS pro 2.9來分析可能影響的電信信令人流數及戶籍設籍人口數可以發現在儲槽洩漏危害中60%燃燒界限影響的區域為鳳森里、鳳興里影響的電信信令人流數為132,172人(利用面積佔比換算電信信令人流數為17,598、2,036人)，10%燃燒界限影響區域為鳳森里、鳳興里、龍鳳里影響的電信信令人流數為132,172、49,572人(利用面積佔比換算電信信令人流數為17,598、2,036、3,345人)、套疊戶籍設籍人口數資料為60%燃燒界限影響的區域為鳳森里、鳳興里影響的戶籍設籍人口數為2,455、3,368人、10%燃
燒界限影響區域為鳳森里、鳳興里、龍鳳里影響的區域為鳳森里、鳳興里影響的戶籍設籍人口數為2,455、3,368、3,455人倘若不慎發生火災爆炸其影響的危害區域包含鳳森里、鳳宮里、鳳興里、龍鳳里，暖區包含鳳森里、鳳宮里、鳳興里、龍鳳里、林家里(林園區)、龔厝里(林園區)、中門里(林園區)，冷區包含鳳森里、鳳宮里、鳳興里、龍鳳里、林家里(林園區)、龔厝里(林園區)、中門里(林園區)，小港里、店鎮里、山明里、坪頂里、王公里(林園區)、頂厝里(林園區)、港埔里(林園區)其影響的電信信令人流數為132,172、49,572人(利用面積佔比換算電信信令人流數為17,598、19,837、2,036、3,3
45、2,457、2,354、2,150、4,625、3,345、14,922、15,765、1,638、1,609、980人)，套疊戶籍設籍人口數為:2,455、3,074、2,790、3,455、1,430、2,200、2,808、2,555、6,501、13,741、7,196、4,859、5,310、2,034人。在模擬較可能情境(ACS)的危害可以發現儲槽洩漏危害中60%燃燒界限影響區域熱區為鳳森里，暖區為鳳森里、鳳興里影響平日夜間電信信令人流數132,172人次(利用面積佔比換算電信信令人流數為17,598、2,036人)、套疊戶籍設籍人口數熱區為2,455人，暖區為2,455、3
,368人，若產生火災爆炸影響的區域為鳳森里，套疊電信信令人流數為132,172人(利用面積佔比換算電信信令人流數為17,598人)，套疊戶籍設籍人口數為2455人，在資料取得部分因電信信令人流數資料無法取得進一步較為細緻的資料因此在模擬的結果會較為粗糙，在較小的統計區塊部分可以參考戶籍設籍人口數來估算當災害發生時其預計疏散撤離的人數數量。最後利用火災模擬軟體(FDS)來估算儲槽火災風險時消防力須介入去做火災搶救需要多少消防量能方能搶救此類火災，在模擬結果發現當儲槽發生儲槽大量洩漏形成防溢堤燃燒比油面燃燒，在不考慮爆炸現象如沸溢、濺溢等，需要消耗更多的消防力介入，在估算由ALOHA擴散模擬軟體
所模擬結果較為危險的儲槽共計3座均可以發現儲槽防溢堤火災均需要動員16個分隊以上前往支援救災，因此在室外儲槽火災風險防範中可以見到最不樂見整個儲槽大量外洩形成火災，但在模擬火災過程中也發現防液堤可以有效的阻絕洩漏物危害以及輻射熱危害，因此呼應到層級分析法中所得的結論在室外儲槽火災風險防範中防火區劃、危險物品的區劃隔絕在室外儲槽火災防範中應為非常重要的一個環節。