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彩色濾光片之黑色矩陣其線寬穩定性之改善

為了解決cd vcd差異的問題，作者皮碩傑 這樣論述：

彩色濾光片是使液晶顯示器呈現亮麗、逼真、鮮明的畫面，而提高其附加價值之關鍵元件，基本結構係由玻璃基板、黑色矩陣、RGB彩色層、保護層後再加上一層間隙控制材料光阻以用來取代面板組裝的灑佈珠狀材製程。而其黑色矩陣光阻應用於液晶顯示器之彩色濾光片，藉其高光遮蔽性區隔 RGB 三原色並提高對比，為彩色濾光片的關鍵原料。 早期使用重金屬鉻作為黑色矩陣的材料，但在製程技術要求、低成本與低污染的考量之下，現今以黑色矩陣樹脂，做為主流材料，其有高光遮蔽性高感度、高附著、高耐熱性、高耐光性、高耐化性、高儲存安定性等特性。 彩色濾光片的技術發展方向取決於消費者面板應用需求，因應其產 品不斷追求更輕、更薄、高

畫質顯示，因此，彩色濾光片逐步向高亮度、高對比度、高色彩飽和度、高解析度方向發展，而在同尺寸面板 比較下，高畫質面板的彩色濾光片其像素也越做越小越密集， 其製程上也越來越精密。 因彩色濾光片新產品導入，而需進行原有黑色矩陣線寬之規格(7um±2.5)需內縮(±1.5)，而必須進行對彩色濾光片黑色矩陣製程能力的提升，提升生產品質，降低生產成本，本研究採用六個標準差方法，由篩選變異因子得知，曝光量，軟烤製程溫度和顯影液對產品的顯影時間對黑色矩陣線寬有顯著影響，而顯影機的顯影液容器(顯影機有兩個顯影液容器)因容器的不同的溫度差異性、產品生產數量的增加(因顯影液在不斷生產的情況下會有濃度不足的問題，

顯影機有補液設定)和軟烤製程時間對黑色矩陣線寬的穩定性也有顯著影響，光罩變形量對整片基板部分區域有顯著的影響，經由設備上的調整及設計不同的參數組合實驗，進行數據收集，改善了黑色矩陣線寬的穩定性。達到了提高製程能力，提升產品品質和降低生產成本的目標。