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鋯鈦酸鉛聲波感測元件應用於嗓音參數量測研究

為了解決am310麥克風的問題，作者林正輝 這樣論述：

摘要 IAbstract II目錄 III表目錄 V圖目錄 VChapter 1 序論 11-1聲波介紹 11-2麥克風介紹 11-3研究動機 21-4 章節概述 3Chapter 2 壓電材料之薄膜理論及製程技術 42-1壓電材料種類 42-1-1 壓電效應 42-1-2 PZT壓電材料 52-2 壓電分析參數 52-2-1共振與反共振頻率 52-2-2機電耦合係數 62-2-3機械品質因數 62-2-4介電常數 62-2-5電滯曲線 72-3 壓電方程式 72-4

蝕刻製程介紹 92-4-1 濕式蝕刻技術 92-4-2 微影技術 10Chapter 3 微橋式超音波感測元件模擬及製作 113-1 PZT薄膜沉積溫度與退火製程 113-2濕式背蝕刻製程 113-3感測元件之架構 123-4-1晶圓準備 123-4-2蝕刻區定義 123-4-3下電極沉積 133-4-4緩衝層沉積 133-4-5壓電材料沉積 133-4-6上電極沉積 133-4-7背蝕刻 133-4-8元件極化及封裝 14Chapter 4 元件量測及分析 154-1元件電性量測 154-

1-1共振頻率與反共振頻率 154-1-2 元件之等效電路 154-1-3 元件介電參數 164-1-4 機電耦合係數 164-1-5 元件電滯曲線 174-2元件特性量測 174-2-1 接收強度之量測 174-2-2 互易校準法計算方法 184-2-3 互易校準法量測方式 194-4 嗓音系統測試 20Chapter 5 結論 22參考文獻 23