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FOUP進入發燒排行的影片

氣流隔絕裝置應用於光罩倉儲系統之隔絕效果研究

為了解決FOUP的問題，作者林哲宇 這樣論述：

目錄摘要 iABSTRACT iii誌謝 v目錄 vi表目錄 ix圖目錄 xi1 第一章 緒論 11.1 研究背景與動機 11.2 潔淨室 21.2.1 潔淨室定義 21.2.2 潔淨度分級範圍 21.2.3 潔淨室種類 41.3 微影製程及光罩 71.3.1 光阻劑 71.3.2 微影製程 71.3.3 光罩 81.3.4 光罩盒 81.4 氣態分子汙染物 81.5 撓曲方程式 101.6 文獻回顧 111.7 研究目的 131.8 研究創新 132 第二章 實驗設備與儀器 142.1 實驗設備 142.1.1 實驗場地 142.1.2 S

tocker room及外部無塵室 152.1.3 氣流隔絕裝置(FID) 172.1.4 示蹤氣體 202.1.5 雷射掃略成像系統 212.1.6 影像紀錄設備 242.2 實驗儀器 262.2.1 熱線式風速計 262.2.2 轉速計 262.2.3 壓差傳感器 272.2.4 THR20觸控式無紙紀錄器 283 第三章 實驗方法 293.1 實驗系統圖 293.2 FFU風速量測 303.3 示蹤氣體釋放手法 313.4 壓力調整方法 353.5 兩室壓差量測方法 353.6 實驗方法 353.7 流場可視化實驗流程 373.8 理論分析 373.

8.1 瑞利散射及米氏散射 383.9 質點影像測速技術 383.10 實驗數據分析方法 394 第四章 結果與討論 404.1 Case 1.0 404.2 Case 1.1 414.3 Case 1.2 434.4 Case 1.3 444.5 Case 1.4 464.6 Case 2.0 474.7 Case 2.1 494.8 Case 2.2 514.9 Case 2.3 524.10 Case 2.4 544.11 Case 3.0 564.12 Case 3.1 574.13 Case 3.2 594.14 Case 3.3 604.15 C

ase 3.4 624.16 Case 4.0 634.17 Case 4.1 654.18 Case 4.2 664.19 Case 4.3 684.20 Case 4.4 694.21 FID阻隔效果比較 715 第五章 結論與建議 745.1 結論 745.2 建議與未來實驗方向 75符號彙編 76參考文獻 78

設計通行機制於OHT軌道交匯處 以提升晶圓緊急工單搬運流量

為了解決FOUP的問題，作者江妍菲 這樣論述：

半導體產業為現今最具競爭的的產業之一，隨著晶圓尺寸不斷地擴大，為了安全且避免提高人力搬運所造成的風險，在廠區內已藉由自動化物料搬運系統（AMHS）之下的懸吊式搬運車（OHT）來進行自動化搬運。由於OHT行駛於單一迴路的軌道上，所以兩個軌道之間的交匯處與分岔點時常為車輛的堵塞區域。本研究設計一匯流通行機制於容易發生OHT車輛堵塞的匯流處。在兩條軌道交匯的前頭設置感測器，當兩台OHT在某匯流處相遇時，透過感測器搜集兩台車輛所運載的晶圓工單資料與是否持有緊急代碼，將持有緊急代碼者先行通過，其餘者以越早的工單編號優先放行，目的使晶圓工單在交付期限內順利達成。在匯流機制的設計上，本研究透過Python

整合本體推論系統，利用情境案例來說明如何將軌道匯流處感測器所搜集資訊儲存至雲端資料庫進行即時更新，再利用本體模型進行知識推論，展現本體的高靈活度的擴展性與環境適應性。